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・ 方形滑动面结构,通过刮削充分利用“工艺”的刮削加工
・ X、Y、Z轴采用双滚珠丝杠/双伺服同时定位控制。
・ 各进给轴标配超精密高分辨率线性标尺反馈,实现高精度加工。
・ 定位精度 ± 0.002 mm / 所有轴的全行程重复精度 ± 0.001 mm
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